Stage-Base

Vibration cancellation system for moving stage semiconductor tools
  • 概述 +


    TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能,它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定,以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。

    专利申请中

  • Stage-Base的优势 +


    Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术只有TMC可以提供这种独特的高级低频消振串行型技术,通过使用音圈电机(VCM),实现了主动移动平台运动消除。

    Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术,使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了卓越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内最佳地面隔振,响应于平台力的初始偏转明显更小。

  • 规格 +


    • 采用独特的STACIS®技术
    • 采用高力、加长行程的压电致动器
    • 有效载荷的位置可重复性在微米以内
    • 框架安装设计
    • 6个主动自由度
    • 可选的VCM前馈和/或反馈
    • 始于0.6 Hz的主动隔振
    • 响应平台运动的快速稳定时间
    • 无软空气悬架
    • 通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面(GUI)的高速数字控制器
    • 简单、坚固且经济高效
  • 性能 +




  • 应用照片 +

  • 订购 +


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