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STACIS III

STACIS III pods and controller on white bg
  • 概述 +


    STACIS® III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和最先进的压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。

    STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中最敏感仪器的行业标准解决方案。

    STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例,是理想的隔振系统,适用于对振动最为敏感的仪器。 
  • STACIS III的优势 +


    STACIS比空气隔振器硬数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在最佳状态下运行。

    独特的串行设计和专有的高力压电技术 
    可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的卓越主动隔振性能。

  • 性能 +



    使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模拟振动来测试4500磅(2045千克)有效载荷

  • 规格 +


    性能规格
    主动自由度 6
    主动带宽 0.6 Hz - 150 Hz
    被动固有频率 18 Hz垂直和水平
    有效的主动共振频率 0.5 Hz
    1 Hz时的隔振 40% - 70%
    ≥2 Hz时的隔振 ≥90%
    10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间(减少10:1) 0.3秒
    内部噪音 <0.1 nm RMSd>
    每个隔振器的工作负载范围 低承重能力:400 - 1100磅(182 - 500千克)
    中等承重能力:900 - 2100磅(410 - 955千克)
    高承重能力:1900 - 4500磅(864 - 2045千克)
    刚度(1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器) 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
    从距离隔振器最大4英寸(102毫米)处发射的磁场 <0.02 μG broadband RMSd>
    隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
    环境和安全 符合CE和RoHS标准
    主动隔振元件 最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷
    被动隔振元件 单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源)
    振动传感器元件 向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压
    主动反馈控制回路 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动
    隔振器尺寸(宽 x 深 x 高) 11.75 x 12.5 x 10.8英寸
    300 x 320 x 275 mm
    隔振器重量 75磅(34千克)
    工作温度 50° - 90° F
    10° - 32° C
    储存温度 -40° - 130° F
    -40° - 55° C
    湿度 30 - 60%
    系统电源要求 100、120、230、240 VAC
    50/60 Hz AC; <600 W
    符合CE标准
    地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
    每个系统的隔振器数量 至少3个
    可选附件 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩
    DC-2020控制器规格
    尺寸(宽 x 深 x 高) 19 x 8.5 x 1.75英寸
    483 x 216 x 45 mm
    重量 6.3磅(2.9千克)
    处理器 150/75 MHz双核
    采样率 10 kHz
    模拟输出 16个通道
    模拟输入 16个通道
    状态灯 单个LED
    前面板端口 1个串行USB 2.0
    1个串行Micro-USB
    1个以太网RJ-45
    2个BNC
    后面板端口 1个串行USB 2.0
    1个以太网RJ-45
    1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器
    用户界面 前面板液晶显示屏
    超级终端上的字符菜单
    适用于Microsoft Windows的扩展GUI
    嵌入式以太网GUI
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    STACIS® III系统可根据您的特定工具和地面条件定制设计。 
    请联系我们的主动产品应用工程团队,以便我们为您的应用设计合适的配置。