Mag-NetX主动磁场消除

Mag-Netx Helmholtz Coil for magnetic field compensation
  • 概述 +


    Mag-NetX设计用于任何带电束仪器,是一种创新的主动控制系统,可补偿磁场波动。通过带数字接口的模拟控制器,Mag-NetX具有更实时的消振和连续监控功能,同时为用户提供了一个简单的内置LCD或基于PC的图形用户界面(GUI)。通过连续监控GUI显示的测量字段,可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。另外,自动调整使典型SEM应用的启动变得更加简单。

    亥姆霍兹型配置采用独立式笼,安装在室内墙壁轨道上或直接安装在外壳内部,可根据您的需求和应用配置Mag-NetX。

    TMC可满足您的扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面最苛刻的要求。

  • Mag-NetX的优势 +


    带数字接口的模拟控制器 - 亥姆霍兹型线圈的模拟控制可实现更精确的实时消振。数字面板为用户提供简单的LCD读数或基于PC的图形用户界面(GUI)。

    现场调整的灵活性 - 在启动时针对典型环境和应用进行自动调整,或针对更具挑战性的环境进行可调的现场调整。

    实时监控 - 通过计算机GUI显示的测量字段进行连续监控,甚至可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。

  • 特点 +


    • 亥姆霍兹线圈对具有最大的对称性和均匀性
    • 连续现场消振和监控
    • 有多种交流和直流消振模式
    • 100倍现场改进(典型值)
    • 动态、100 μs响应
    • 精确的现场测量
    • 具有连续系统监控和分析的图形用户界面
    • 可选的线路频率和谐波的前馈补偿
    • 可选的其他输入前馈功能
    • 可选的自定义字段创建,同时抑制干扰
    • 易于组装的不锈钢笼,也可提供室内壁安装式系统
    • 可提供任何尺寸的笼系统
    • 壁安装式和外壳安装式配置包括阻燃级电缆

     


  • 性能 +


    图1:根据外部励磁驱动线圈的干扰场强度,测量了外部传感器信号的大小。最佳性能是在系统传感器位置。根据外部励磁驱动线圈的干扰场强度,测量了外部传感器信号的大小。励磁线圈位于亥姆霍兹笼外,外部传感器线圈位于系统传感器周围。由于笼的尺寸,Z补偿场的均匀性低于X和Y,但受保护尺寸较长,因此Z抑制较低。 
  • 规格 +


    系统
    系统组件 3轴正交磁传感器、Mag-NetX控制器、笼内亥姆霍兹线圈对、外壳安装或壁安装式配置
    主动磁场消除轴 X、Y、Z
    传感器类型 磁通门型,噪声 <10 pT/>基数;Hz @ 1 Hz
    最大环境直流场(取决于传感器) ±70 μT标准
    可提供高达±250 μT
    带宽(取决于笼和传感器) 直流,1 kHz典型值,最高可达2 kHz
    动态范围(取决于笼和频率) 典型值±10 μT,最高±100 μT
    典型值40 dB,最大55 dB
    控制体积与磁场磁通密度 50 m3 @10 μT RMS(取决于笼参数)
    1 m3 @ 50 μT RMS(标准控制器能够通过特殊的笼结构消除地球磁场)
    10 m3 @ 50 μT RMS(用于通过特殊的笼和外部放大器来消除更大体积的地球磁场)
    传感器位置的场减少率
    使用36 x 36 x 52英寸/
    91 x 91 x 132厘米(长 x 宽 x 高)的典型笼;
    直流100 Hz时的40 - 50 dB(100x - 300x)典型值
    100-500 Hz时的26 dB(20x)典型值
    典型电子
    显微镜柱体积
    12 x 12 x 24英寸/30 x 30 x 60厘米中的场减少率
    使用60 x 60 x 84英寸/
    152 x 152 x 213厘米(长 x 宽 x 高)的笼
    X、Y:直流100 Hz时的30 dB(32x)典型值
    X、Y:100-500 Hz时的20 dB(10x)典型值
    Z:直流100 Hz时的15 dB(5.2x)典型值
    Z:100-500 Hz时的10 dB(3x)典型值
    0 dB @ 1000 Hz
    控制器
    尺寸 17 x 9 x 1.75英寸/43 x 23 x 4.5厘米
    操作模式 通电后:
    • 自动自检/校准,并在1分钟内切换到控制模式。无需用户参与。
    • 手动测试/调试模式
    • 真正的直流模式(补偿地球磁场)
    • 偏置直流模式(忽略地球磁场)
    • 跟踪显微镜运动零件引起的直流漂移
    • 准直流模式(忽略> 100秒波动)
    • 取消和创建(同时取消干扰和创建自定义字段)
    控制工具的类型
    • 数字控制增益的模拟反馈,DC - 2 kHz
    • 数字反馈
    • 数字前馈(取消交流线路电源频率和谐波,而没有反馈的增益稳定性限制)
    状态LED指示灯 绿色=正常;黄色=警告/错误
    LCD 2x20符号显示 显示菜单和状态
    条形LED指示灯 显示XYZ补偿场的实时强度
    4个方向按钮 用于LCD菜单导航
    USB插槽(在PC上显示为COM端口) 用于高级调整/测试的图形用户界面,接受ASCII命令和显示菜单
    辅助模拟输入端(后DB-37) 可以用作前馈或创建自定义字段
    通行和不通行信号继电器 二进制,用作受保护系统的输入端
    电源要求 90-240 VAC,50/60 Hz,最大500 VA。
  • 亥姆霍兹线圈笼配置 +

    • 柱安装式亥姆霍兹线圈
      • 安装在柱上的亥姆霍兹线圈很容易适应SEM柱,但这对TEM来说却不切实际。
    • 地面安装式亥姆霍兹线圈
      • 地面安装式亥姆霍兹线圈可用于SEM和TEM。
    • 腿架上的亥姆霍兹线圈
      • 亥姆霍兹线圈可以安装在TMC腿架上。
  • 亥姆霍兹线圈壁装式配置 +


    壁安装式线圈是安装在房间中心附近的TEM和SEM的柱和地面安装式线圈的实用替代品。


    Mag-NetX亥姆霍兹线圈壁安装式磁场消除系统
    1. 特殊设计可安装在被动屏蔽室内
    2. 两件式防篡改PVC额定功率通道装有直接安装在墙壁上的亥姆霍兹型电缆
    3. 具有独立X-Y-Z引线的低噪声DC-5 kHz磁通门传感器是标准配置;还有多种传感器和传感器配置可供选择
    4. 适用于所有壁安装式室内系统的阻燃电缆
    5. 用于门槛的铝盖,可在现场切割和修剪到适当的尺寸
    6. PVC或铝地板门槛,可在需要时分隔大型房间

     Mag-NetX壁安装式亥姆霍兹磁场消除系统配置选项
     
  • 控制器和传感器 +


    Mag-NetX控制器和传感器特点
    典型的传感器安装方式
    Mag-NetX典型传感器安装位置
  • 应用说明 +

    • Mag-NetX®

      蔡司Auriga FIB-SEM在使用带Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后的图像

    • Mag-NetX®

      Bartington Instruments的磁力计用于消除磁场和自定义创建磁场

  • 应用照片 +

  • 订购 +


    联系TMC
    应用工程师将根据您的独特要求为您配置系统并提供报价。