主动和被动隔振器(OEM)

  • micro-g pneumatic isolators for OEM integration thimbnail
    适用于工具内应用的Micro-g空气隔振器

    高性能Micro-g®气动隔振器有各种承重能力、阻尼水平和高度控制选项,适用于原始设备制造商(OEM)的工具内应用

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  • ElectroDamp stage vibration cancellation
    Electro-Damp® II主动空气消振

    Electro-Damp®专为提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量而设计。Electro-Damp II增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器,多个数字用户界面专门设计用于OEM应用。

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  • PEPS II pneumatic isolator controller
    PEPS®II主动空气调平系统

    PEPS®II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。应用包括需要改善稳定时间和提高产量的半导体制造设备以及需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。

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  • Vibration cancellation for semiconductor moving stage tools
    Stage-Base™

    TMC的Stage-Base™ 450专门设计用作带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具的主要消振系统。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。

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